飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀在表面分析中具有很高的靈敏度。該方法利用一次離子激發(fā)樣品表面微量二次離子，并根據(jù)二次離子飛向探測器的時(shí)間長短來確定離子質(zhì)量。由于離子在TOF-SIMS中的飛行時(shí)間只與質(zhì)量有關(guān)，所以它一次脈沖就可以得到全譜，離子利用率高，可以實(shí)現(xiàn)樣品的靜態(tài)分析。