膜進樣質譜儀一般由進樣系統、離子源、質量分析儀和檢測器組成。此外，它還包括真空系統、控制和數據處理系統等輔助設備。質譜儀配有溫度和壓力傳感器，可以測量標準狀態體積流量和質量流量，從而顯示氣體的標準狀態體積流量。采用鋰電池供電，可連續運行一年以上。膜進樣質譜儀可以直接測量飽和蒸汽的溫度并計算壓力。安裝起來很方便。
1.進樣系統——按電離方式的需要，將樣品送入離子源的適當部位；
2.離子源——用來使樣品分子電離生成離子，并使生成的離子會聚成有一定能量和幾何形狀的離子束；
3.質量分析器——利用電磁場（包括磁場、磁場和電場的組合、高頻電場、和高頻脈沖電場等）的作用將來自離子源的離子束中不同質荷比的離子按空間位置，時間先后或運動軌道穩定與否等形式進行分離；
4.檢測器——用來接受、檢測和記錄被分離后的離子信號。
膜進樣質譜儀的維護和保養方法：
1、定期清洗儀器：各個部件需要定期清洗，以避免污染和堵塞。清洗時，應使用純水和有機溶劑進行清洗，避免使用有腐蝕性的化學品。
2、定期更換零部件：零部件需要定期更換，以確保其正常運行和準確分析結果。如離子源、電極、離子源加熱器、離子鏡、離子檢測器等。
3、定期校準儀器：各個參數需要定期校準，以確保其準確性和精度。如離子源電壓、離子鏡電壓、質譜分析器的分辨率等。
4、定期檢查儀器：各個部件需要定期檢查，以確保其正常運行和準確分析結果。如檢查離子源的加熱器、離子源的電極、離子鏡的磁場等。
5、維護儀器的環境：運行環境應保持干燥、無塵、無震動和恒溫恒濕，避免對儀器產生影響。
6、停機時注意事項：在停機時，應注意關閉各個部件的電源和氣源，避免對儀器產生損壞。
7、注意安全問題：在使用時，應注意安全問題，如避免接觸高壓電極、避免使用有腐蝕性的化學品等。
質譜儀需要定期進行校正，用戶可根據測試樣品的需求制定儀器校正計劃。一般情況下，每次重新開機都需要對儀器或儀器的某些項目進行校正，當然不同公司的質譜儀的質量穩定性存在一定差別，所需要的校正頻率也不一樣。對于質量精度很高的高分辨質譜儀所需要校正的頻率相對較高，校正時需要配制或者購買儀器廠家專用的校正液，按照儀器校正規程對儀器進行校正。質量校正是質譜儀日常維護中非常重要的一環，只有在儀器質量軸準確的情況下，才能收集到可靠有效的實驗數據。
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